過濾在化學(xué)機(jī)械拋光液（CMP slurry）的制取和使用過程中是*的。使用傳統(tǒng)的動態(tài)光散射粒度儀不可能檢測和定量分析過濾效果的好壞，即不能檢測出導(dǎo)致研磨過程中劃傷晶片的研磨液中大顆粒是否被濾除。有時過濾器的實(shí)際使用壽命會由于某種因素的影響比預(yù)期的使用壽命要縮短，而過濾器的失效會導(dǎo)致研磨液中的大顆粒劃傷晶片。如果沒有一種方法檢測/監(jiān)測研磨液過濾前后的尾部大顆粒，生產(chǎn)廠家就只能通過頻繁更換過濾器的方法來產(chǎn)品質(zhì)量的*，這樣做既浪費(fèi)人力又浪費(fèi)物力。 

關(guān)鍵詞： Nicomp380   SPOS  過濾效率  Slurry 

二、客戶現(xiàn)存問題:

     某過濾器材公司研發(fā)部一直想提升濾芯的過濾效率和判斷何時更換過濾器。但是苦于該公司的激光粒度儀在2μm處測試效果不好，到處尋找適合測試的儀器。

三、解決方案：

   PSS提供粒度分析儀NICOMP 380 和顆粒計數(shù)器AccuSizer FXnao來對過濾前后進(jìn)行分析比較。

    該公司為了測試PSS儀器的性，他們將200nm標(biāo)粒和500nm標(biāo)粒混合進(jìn)行測試。

    采用NICOMP 380 測試粒徑分布。NICOMP多峰分布顯示有下面兩個峰值，如圖一 

圖一

采用FXnano繼續(xù)對該樣品進(jìn)行顆粒計數(shù)測試分析。如圖二

圖二

FXNano給出的數(shù)據(jù)庫 Channel date：

   該數(shù)據(jù)庫很好的顯示了PSS儀器強(qiáng)大的計數(shù)功能和分辨率。判定在0.2μm和0.5μm處有呈現(xiàn)粒子，很直觀的給出了顆粒的分布和數(shù)量信息。

為了判別濾芯的過濾效率。測試slurry過濾前后的樣品，疊加，如圖三

圖三Slurry過濾前后對比 ，過濾前（紅色），過濾后（藍(lán)色）

四、結(jié)果：

    該公司對測試結(jié)果非常滿意， AccuSizer 系列能夠很容易地檢測和定量分析那些嚴(yán)重危害制品質(zhì)量的尾部大顆粒，從而可以測定過濾器的效率以及大顆粒的濾除率。使用AccuSizer檢測/監(jiān)測過濾效果能夠延長過濾器的實(shí)際使用壽命，從而節(jié)約生產(chǎn)成本，購買儀器的投資幾個月即可收回。

五、結(jié)論：

     NICOMP 380帶有的多峰分布，采用去卷積算法給出了多組分樣品的粒度分析。雖然激光衍射儀器有著寬廣的測試范圍和快速測試的優(yōu)勢，但是其本身原理太依賴于光學(xué)部件，在2μm處的衍射環(huán)辨析率不高。SPOS單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)不僅給出了顆粒粒徑的分布情況，還對粒子數(shù)目有著真實(shí)的檢測計數(shù)。用來檢測過濾效率，既，又一目了然。